SIASUN Vacuum Robot Phoenix — это вакуумный робот-перекладчик для производства полупроводников и чистых помещений, созданный для перемещения пластин (wafers) и других чувствительных подложек между шлюзовыми камерами, камерами передачи и технологическими модулями, такими как станции осаждения, травления и метрологии, не нарушая контролируемую среду. Его движение настроено на стабильную, плавную передачу в условиях вакуума, где низкое образование частиц, контролируемое газовыделение и контроль вибраций критически важны для защиты дорогостоящих подложек.

Phoenix использует архитектуру с прямым приводом, которая снижает зависимость от редукторов и ремней, уменьшая люфт и точки механического износа для более плавного и повторяемого движения. Поставляемый как готовая к интеграции платформа с контроллером движения и интерфейсами I/O, он подходит для применения в полупроводниковом производстве, чистых помещениях и промышленных задачах вакуумного перемещения, где важны повторяемость, производительность и контроль загрязнений. Свяжитесь с нами для получения подробных характеристик, цен и информации о наличии.