- Прямой привод без ремней Безредукторная и безременная конструкция двигателя уменьшает люфт и точки механического износа для более плавного и надёжного движения передачи.
- Рассчитан на вакуумную среду Создан для низкого образования частиц и контролируемого газовыделения, чтобы пластины перемещались по вакуумному оборудованию, не нарушая контролируемую среду.
- Работа с чувствительными подложками Перемещает пластины между шлюзовыми камерами, камерами передачи и технологическими модулями, такими как станции осаждения, травления и метрологии.
- Движение с контролем вибраций Движение настроено на минимизацию вибраций при взятии, установке и перемещении, что защищает дорогостоящие подложки.
- Готовое к интеграции управление Поставляется с контроллером движения и интерфейсами I/O, включая обновлённый модуль I/O, для подключения к блокировкам оборудования и заводским сигналам.
- Повторяемая высокопроизводительная передача Стабильная работа конечного эффектора обеспечивает повторяемость, производительность и контроль загрязнений в полупроводниковом технологическом оборудовании.
Описание
SIASUN Vacuum Robot Phoenix — это вакуумный робот-перекладчик для производства полупроводников и чистых помещений, созданный для перемещения пластин (wafers) и других чувствительных подложек между шлюзовыми камерами, камерами передачи и технологическими модулями, такими как станции осаждения, травления и метрологии, не нарушая контролируемую среду. Его движение настроено на стабильную, плавную передачу в условиях вакуума, где низкое образование частиц, контролируемое газовыделение и контроль вибраций критически важны для защиты дорогостоящих подложек.
Phoenix использует архитектуру с прямым приводом, которая снижает зависимость от редукторов и ремней, уменьшая люфт и точки механического износа для более плавного и повторяемого движения. Поставляемый как готовая к интеграции платформа с контроллером движения и интерфейсами I/O, он подходит для применения в полупроводниковом производстве, чистых помещениях и промышленных задачах вакуумного перемещения, где важны повторяемость, производительность и контроль загрязнений. Свяжитесь с нами для получения подробных характеристик, цен и информации о наличии.
Характеристики
Характеристики
| Бренд | SIASUN |
|---|---|
| Модель | Vacuum Robot Phoenix (PHOENIX B Series) |
| Тип робота | Вакуумный робот для переноса пластин |
| Архитектура привода | Прямой привод, без редукторов и ремней |
| Среда | Вакуум / чистое помещение (полупроводниковое оборудование) |
| Перемещаемые изделия | Пластины и чувствительные подложки на лопатке конечного эффектора |
| Управление и I/O | Контроллер движения со встроенным модулем I/O для интеграции с оборудованием |
| Типовые применения | Передача при осаждении, травлении и метрологии в полупроводниковом технологическом оборудовании |
Отрасли
Часто задаваемые вопросы
Свяжитесь с нами, чтобы узнать актуальную цену, наличие и получить индивидуальное предложение на SIASUN Vacuum Robot Phoenix.
Это вакуумный робот-перекладчик, который перемещает пластины и другие чувствительные подложки между шлюзовыми камерами, камерами передачи и технологическими модулями, такими как станции осаждения, травления и метрологии, не нарушая контролируемую вакуумную среду.
Безредукторная и безременная конструкция с прямым приводом исключает промежуточные передаточные компоненты, уменьшая люфт и точки механического износа и обеспечивая более плавное, повторяемое движение для точной передачи.
Да. Phoenix поставляется как готовая к интеграции платформа с контроллером движения и интерфейсами I/O, включая обновлённый модуль I/O, для подключения к блокировкам оборудования и сигналам заводской автоматизации. Подробные числовые характеристики предоставляются для каждой конфигурации.
Да. Robotix Market поставляет продукцию компаниям по всему миру с выставлением счетов и послепродажной поддержкой. Свяжитесь с нами для получения предложения.
Недавно просмотренные
Вы ещё не просматривали ни одного товара.
