SIASUN Diagram 600 Vakum Transfer Platformu, yükleme/boşaltma arayüzleri ile vakum tabanlı proses modülleri arasında wafer hareketini sağlar. Kontaminasyonu azaltmak için kontrollü basınç koşullarını sürdürür.

Öncelikle tekrarlanabilir üretim akışlarını destekleyen yarı iletken ekipmanı içindeki wafer transferi için kullanılır.

Diagram 600 yarı iletken, araştırma ve endüstriyel vakum transfer uygulamalarına hizmet eder.

Fiyat ve stok durumu için iletişime geçin.