- Ortam basıncı
- Ön uç modülleri
- Yük portları/hizalayıcılar
- Muayene istasyonları
- Kompakt hassasiyet
- EFEM entegrasyonu
Açıklama
SIASUN Blade-D156 Atmosferik Manipülatör, waferları (veya wafer benzeri alt tabanları) ortam basıncında ön uç modülleri, yük portları, hizalayıcılar, denetim istasyonları ve proses aracı arabirimleri arasında taşır.
Genellikle bir EFEM'in veya entegre malzeme taşıma hücresinin parçası olan kompakt, hassas bir transfer platformu olarak konumlandırılmıştır.
Blade-D156, yarı iletken, denetim ve endüstriyel atmosferik taşıma uygulamalarına hizmet eder.
Fiyat ve stok durumu için iletişime geçin.
Özellikler
Teknik Özellikler
Sektörler
Son Görüntülenenler
Henüz hiçbir ürünü görüntülemediniz.
