- EFEM front-end-interface Verbindt het materiaaltransportsysteem van de fabriek met de interne transferomgeving van de procestool voor een gestandaardiseerde waferoverdracht.
- SEMI-compatibel ontwerp Gepresenteerd als een interfacesysteem dat compatibel is met de SEMI-standaarden voor apparatuurcommunicatie en -integratie.
- Transferrobot met dubbele arm Een robot met dubbele arm en een externe as zorgt voor een efficiënte waferbeweging aan het toolfront.
- Compacte voetafdruk De architectuur met kleine voetafdruk past bij toolfronts met beperkte ruimte in de fab.
- Flexibele transportcoördinatie Verplaatst wafers handmatig of in coördinatie met het fabriekstransport, zoals bovenloopsystemen.
- Contaminatiebeheersing Ondersteunt herhaalbare wafertransfers en beperkt tegelijk het operatorcontact met kritische substraten.
Beschrijving
De SIASUN TSS-3000 is een EFEM (Equipment Front End Module) voor de halfgeleiderproductie en fungeert als gecontroleerde interface tussen het materiaaltransportsysteem van een fab en de interne transferomgeving van een procestool. Hij coördineert het laden, uitlijnen en overdragen van wafers en helpt tegelijk de contaminatiebeheersing en een gestandaardiseerde, SEMI-compatibele apparatuurcommunicatie te waarborgen.
De TSS-3000 is ontworpen met een kleine voetafdruk en gebruikt een transferrobot met dubbele arm en een externe as om wafers handmatig of in coördinatie met het fabriekstransport, zoals bovenloopsystemen, te verplaatsen, wat een efficiënte, herhaalbare waferhandling aan het toolfront ondersteunt. Hij is geschikt voor cleanroom-waferfab-omgevingen waar gestandaardiseerde interfaces en beperkt operatorcontact met kritische substraten vereist zijn. Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.
Kenmerken
Specificaties
| Merk | SIASUN |
|---|---|
| Model | TSS-3000 |
| Robottype | EFEM (Equipment Front End Module) / front-end wafertransfersysteem |
| Interface | SEMI-compatibele front-end-interface |
| Transferrobot | Robot met dubbele arm en een externe as |
| Voetafdruk | Compact / kleine voetafdruk |
| Bediening | Handmatig of gecoördineerd met het fabriekstransport (bijv. bovenloopsystemen) |
| Typische toepassingen | Front-end-handling in de waferfab, waferladen en uitlijnen/overdracht |
Sectoren
Veelgestelde vragen
Neem contact met ons op voor actuele prijzen, beschikbaarheid en een offerte op maat voor de SIASUN Truss Robot.
Het is een cartesische portaalrobot voor herhaalbare materiaalhandling, meestal het laden en lossen van CNC-machines, transfers tussen bewerkingen en procesautomatiseringslijnen op de werkvloer.
Ja. Dankzij het grote werkbereik en de schaalbare raillengte kan één portaalrobot meerdere CNC-machines of werkstations bedienen, waardoor minder losstaande handlingapparaten nodig zijn.
De eindeffector-interface accepteert pneumatische of servogrijpers, vacuümzuignappen, magneetgrijpers en gereedschapswisselaars, zodat hij geconfigureerd kan worden voor onderdelenhandling, vlakke of ferromagnetische oppervlakken en cellen met meerdere bewerkingen.
Ja. Robotix Market levert wereldwijd aan bedrijven, met facturatie en after-sales ondersteuning. Neem contact met ons op voor een offerte.
Recent bekeken
Je hebt nog geen producten bekeken.
