Il robot per ambiente sottovuoto SIASUN SM12 è progettato per la movimentazione di wafer di silicio e substrati di zaffiro per LED. Il suo design privilegia la rigidità, la riduzione delle vibrazioni e i movimenti ad alta velocità grazie a una struttura leggera.

Funziona in ambienti a vuoto controllato o in condizioni simili al vuoto, garantendo una movimentazione ripetibile dei substrati.

L'SM12 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori, dei LED e della movimentazione di substrati industriali.

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