La serie SIASUN PHOENIX-S25 è una piattaforma di manipolazione per vuoto progettata per il trasferimento pulito all'interno di camere a vuoto, sistemi load-lock e cluster tool. A differenza dei robot convenzionali da officina, i manipolatori per vuoto devono gestire con attenzione la contaminazione, la lubrificazione e la tenuta, e la PHOENIX-S25 vi risponde con una struttura del motore ad azionamento diretto che elimina ingranaggi, cinghie ed elementi di trasmissione simili dall'architettura interna. La riduzione di queste interfacce meccaniche abbassa la generazione di particelle, riduce il numero di componenti di trasmissione consumabili e favorisce un profilo di movimento più pulito e più reattivo. La serie introduce inoltre un nuovo modulo di I/O con supporto per interrupt hardware per la gestione degli eventi a bassa latenza.

Queste caratteristiche rendono la PHOENIX-S25 ben adatta a processi sensibili alla contaminazione, in cui parti o substrati si spostano tra i moduli senza esposizione all'aria ambiente. La capacità di interrupt hardware consente al sistema di controllo di reagire rapidamente allo stato del sistema di vuoto, allo stato delle porte del load-lock, agli eventi di allineamento guidati da sensori e ai segnali di prontezza dei moduli, contribuendo a coordinare un movimento deterministico all'interno di una regione di trasferimento sotto vuoto. È associata più strettamente alla produzione di semiconduttori e display, dove wafer e pannelli vengono manipolati all'interno di cluster tool sotto vuoto per ridurre al minimo ossidazione e contaminazione. La PHOENIX-S25 è fornita su preventivo, con configurazione e integrazione di processo confermate prima dell'ordine.