A SIASUN Phoenix B sorozatú vákuumrobot a szabályozott környezet megzavarása nélkül szállítja a szilíciumlemezeket a betöltő kamrák, az átviteli kamrák és a feldolgozó modulok (bevonatolás, maratás, mérés) között.

Javítja az ismételhetőséget, az átbocsátási teljesítményt és a szennyeződés-ellenőrzést a félvezető- és tisztatéri gyártásban.

A Phoenix B sorozat félvezetőipari, oktatási és ipari vákuumkezelési alkalmazásokhoz használható.

Az árakkal és a rendelkezésre állással kapcsolatban vegye fel velünk a kapcsolatot.