- Vakuumumgebung
- Wafertransfer
- Cluster-Tool-Integration
- Wiederholbare Bewegung
- Hohe Verfügbarkeit
- Partikelreduzierung
Beschreibung
Die SIASUN Vacuum Robot Archer Series transferiert Wafer oder Substrate zwischen Prozesskammern in Cluster-Anlagen. Entwickelt für Vakuumumgebungen mit wiederholgenauer Bewegung und hoher Verfügbarkeit.
Integriert mit Front-End-Automatisierungsmodulen und Vakuum-Cluster-Tools, um Partikelbildung zu reduzieren und eine saubere Fertigung aufrechtzuerhalten.
Die Archer Series eignet sich für Vakuumprozess-Anwendungen in Halbleiterindustrie und Industrie.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Vacuum Robot Archer Series |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuumtransfer |
| Verwendungszweck | Halbleiterverarbeitung |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Die SIASUN Vacuum Robot Archer Series transferiert Wafer in Vakuum-Clustertools. Automatisierung mit hoher Verfügbarkeit für saubere Halbleiterprozessumgebungen.
SIASUN Vacuum Robot Archer Series eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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