- Vakuumtransfer
- SEMI-zertifiziert
- Hohe Zuverlässigkeit
- Substrathandhabung
- Vakuumkammern
- Transfermodule
Beschreibung
Der SIASUN SRBZ820C Vakuum-Transferroboter arbeitet in der Halbleiter- und Vakuumprozess-Automatisierung. Er wird in oder neben Vakuumkammern und Transfermodulen eingesetzt, um empfindliche Substrate zu bewegen.
Üblicherweise beschrieben als SEMI-zertifizierte Lösung mit hoher Zuverlässigkeit für das Wafer-Handling.
Der SRBZ820C wird für Vakuumtransfer in den Bereichen Halbleiter, Inspektion und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN SRBZ820C Vakuum-Transferroboter
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