- 200mm/300mm Wafer
- 0.5kg Traglast
- Kompaktes Design
- Hohe Geschwindigkeit
- Hohe Reinheit
- FOUP-/Kassetten-Schnittstelle
Beschreibung
Der SIASUN Blade-DD250 Atmosphären-Manipulator unterstützt Φ200mm- und Φ300mm Waferformate mit ≤0.5kg Traglast. Positioniert als kompakte, schnelle, hochreine Transferlösung.
Eingesetzt an Schnittstellen zwischen Prozessanlagen, Load-Ports und Kassetten/FOUPs in der Reinraum-Fabrikautomatisierung.
Der Blade-DD250 wird für atmosphärisches Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
Branchen
SIASUN Atmosphären-Manipulator Blade DD250
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